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产品信息
Disco 迪思科切割机 BBD光纤 EKFM-010078-0 SH749 ,适用于DAD322 / DAD3350 / DFD6340
迪思科,利用激光的能量切割晶圆或进行内部改质的激光切割机(图1)正逐步变成新的业务支柱。激光切割机可应用于普通切割机难以应付的材料,包括半导体的低介电常数膜(low-k膜)等脆弱材料,以及LED的蓝宝石基板等硬质材料等,因此这种切割机的需求正在快速增加
激光切割机又不断发展进步,既有可切断硅膜的机型,又有用一台(一种激光头)机器切割low-k膜和硅膜的机型。而且,还开拓了切割LED的蓝宝石基板以及硅膜内部改质(Stealth Dicing)等用途。关家透露:“目前已确认激光切割机适用于两种新用途。还能另外找到五种用途。”