ASML质量流量计4022.690.46261 SPEC MFC 0-120NLPM V2_上海闻企电子科技有限公司

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ASML质量流量计4022.690.46261 SPEC MFC 0-120NLPM V2

ASML质量流量计4022.690.46261 SPEC MFC 0-120NLPM V2

型号/规格：

质量流量计4022.690.46261

品牌/商标：

SIERRA

量程：

0-120 sccm

价格：

69730

询价

产品信息

ASML质量流量计4022.690.46261 SPEC MFC 0-120NLPM V2 SIERRA

采用热技术的直接质量流量 +/- 0.5% 满量程精度
真正的多气体数字质量流量控制器
查看和更改仪器的各个方面
占用空间小，仅为 50 slpm，是 OEM 的理想选择
对主要标准品进行 10 点 NIST 校准

所有清洁气体，包括有毒和腐蚀性气体
高精度：+/- 0.5% 满量程
精度：满量程的 +/- 1%
重复性：+/- 0.2% 满量程
流量范围从 0-10 sccm 到 0-1000 slpm （nlpm）
提供更高和更低的流量范围
压力达 500 psig （34.5 barg）
气体/环境温度 32°F 至 122°F（0°C 至 50°C）

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