MKS ASTex LIQUOZON-HELIO3 气体模块,溶解臭氧输送系统_上海闻企电子科技有限公司

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MKS ASTex LIQUOZON-HELIO3 气体模块,溶解臭氧输送系统

MKS ASTex LIQUOZON-HELIO3 气体模块,溶解臭氧输送系统

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MKS ASTex LIQUOZON-HELIO3 气体模块,溶解臭氧输送系统

型号/规格：

LIQUOZON-HELIO3

品牌/商标：

MKS

量程：

60 lpm

价格：

489760

QQ:345952988

询价

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产品信息

MKS ASTex LIQUOZON-HELIO3 气体模块,溶解臭氧输送系统

MKS LIQUOZON HELIO3 GAS MODULE, MODULAR DISSOLVED OZONE DELIVERY SYSTEM，12-49ppm, 60 lpm

规格

类型
利夸松? HeliO3臭氧输水系统
臭氧发生器
AX8407LS-D-01
臭氧浓度
12 - 49 页/分钟
流量
60 lpm，在旁路模式下可实现更高的流速
原料气
O2
原料气质量
≥4.0级（纯度≥99.99%），露点<-40°C
原料气流量
≤8 毫升/分钟，典型值 4.8 卢/分钟，符合 SEMI E12 （0°C / 1.01325 巴）标准
原料气入口压力
4.5-7.6 巴g（0.45-0.76兆帕）g， 65-110 psig）
掺杂气体
二氧化碳
掺杂气体质量
≥4.5级（纯度99.995%）露点≥40°C
掺杂气体流量
≤0.3 毫升/分钟，典型值 0.2 卢/分钟，符合 SEMI E12 （0°C / 1.01325 巴）标准
掺杂气体入口压力
5.0-7.6 巴g（0.50-0.76兆帕）g， 73-110 psig）
需要 N2 掺杂气体纯度
≥4.0级（纯度≥99.99%），露点<-40°C
所需的 N2 掺杂气体压力
4.5-7.6 巴g（0.45-0.76兆帕）g， 65-110 psig）
N2掺杂气体标准流量要求
≤0.8 sccm，典型值 0.5 sccm，符合 SEMI E12 标准（0°C / 1.01325 bar）
需要压缩干燥空气标准流量
≤10 毫升/分钟，典型值 2 毫升/分钟，符合 SEMI E12 标准（0°C / 1.01325 巴）
需要压缩干燥空气纯度
过滤（不含油和颗粒）
所需的压缩干燥空气压力
5.2-8.2 巴g（0.52-0.82兆帕）g， 75-119 psig）
推荐冷却水流量
典型值 3.8 升/分钟
冷却水压力
Z大 5.0 巴g（0.5兆帕g， 73 磅/平方英寸）

冷却水温度
17 - 23°C，额定温度 20°C
所需冷却水压差
≥2.0 公斤（0.2 兆帕，29 磅/平方英寸）
冷却水质
脱盐，过滤（≤20μm）
所需的冷却水电阻率（电导率）
50-3000 千米欧姆厘米（20 - 0.33 微秒/厘米）
所需的冷却水pH值
7.0 - 8.0
气体模块
12-14100-01300-2M00
气体模块材料
涂层钢
气体模块电源频率
50-60赫兹
气体模块电源防护等级
防护等级 40
气体模块电源集体视在功率
2000 VA
气体模块电源相位
3/N/PE~
气体模块电源有效值满载相电流
Z大 3.8 A
气体模块电源集体真动力
1980 瓦
气体模块电源电压
400 V ±10%
湿式模块
12-21A-1000A-0000
湿模块材料
聚丙烯
润湿表面
气体：316L不锈钢，全氟乙烯，聚四氟乙烯液体：聚四氟乙烯，聚四氟乙烯，氟
橡胶
湿模块 - 工艺液体输入 - 由 TOOL 提供
HF和HCl的去离子臭氧水各高达10重量%，不含硅片碎片
压力： 0.5-2.5 巴g（0.05-0.25兆帕）g， 7-36 psig）
温度： 15 - 50°C
流速： Z大 60 升/分钟
控制接口
二进制输入/输出（干触点），RS232，RS485，USB
合规
CE，半 S2-0302，半 F47