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产品信息
瑞士VAT 65048-PAHP-0002/0653真空阀门 A-2322496 470-101119-00 5008619HTS
钟摆控制隔离阀 65 系列65040-PA42-AST/2534
用于SEMI和FPD工艺的下游压力控制和隔离阀。适用于腐蚀性蚀刻和清洁过程。几乎无颗粒和无震动的操作；出色的压力控制性能；用于连接计算机或服务盒的服务端口。651系列有低的Z小可控通导。 通径从DN100到DN400（其中651系列通径从DN160到DN400），有ISO-F、JIS法兰配置，材质有铝和硬质阳极氧化铝两种，每种法兰电气接口分别有G(A/H/C/T/U/V/W)型电源和开关保护选项与和G(H/V/W/C/E/P/Q/D/F/J/K/Y/Z/L/N/I/X/S)型