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产品信息
日本ANELVA溅射离子泵912-7165S 60L/S 410575
低温泵属于真空泵的一种。 真空泵分为气体输送泵和气体捕集泵两种。按照作用压力范围分为粗真空泵和高真空泵。粗真空泵又分为油旋转真空泵和干粗泵。高真空泵又分为涡轮分子泵，低温泵，溅射离子泵，油扩散泵。 低温泵的特点如下： 排气速度（尤其对水蒸气）快 虽然是捕集式，但MAX排气量大 可获得完全无油真空 需要定期排出（再生操作）捕集的气体 不排出化学气体 Maaho⪚由美国Sumiomo(SHI) Cyogeics of Ameica, Ic.工厂生产，拥有以下特点： 独有的面板设计 氢气排气容量大 多步骤再生循环与短再生时间 适应性强，可对应8-20英寸尺寸规格