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日本富士金质量流量计MH6092ASN FCST1030LC-4J2-F3L-SF6 523467
型号/规格:
质量流量计MH6092ASN FCST1030LC-4J2-F3L-SF6
品牌/商标:
Fujikin
精度:
±1%S.P.
价格:
7360.0
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产品信息
Fujikin质量流量计MH6092ASN FCST1030LC-4J2-F3L-SF6 523467
规格参数
1. 多气体多量程(MG/MR)功能
2. 可在客户端简单打盾进行气体种类/流量变更,从10sccm至50slm
3. 准确度高:±1%S.P.(100-25%),±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保证范围15-35℃)
4. 再现性:±0.2% F.S
5. 强耐腐蚀性
6. 输入输出信号:模拟(0-5VDC)/RS-485、Device Net
7. 全量程范围、响应速度快,≤1sec
8. 密封材质:金属密封/橡胶密封
9. 阀门种类:NO常开NC常闭型
10. 动作压力:400kPaG(Ar:500kPaG)
11. 耐压:1MPa
12. 使用温度:5-50℃
13. 金属密封外部泄漏率:1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
14. 橡胶密封外部泄漏率:1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
15. 材质:SS316L不锈钢
16. 接口方式:1/4vcr金属面密封连接,卡套连接