上海闻企电子科技有限公司

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产品分类

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Aera质量流量控制器FC-7800CD 50SCCM        50%PH3/SIH4
Aera质量流量控制器FC-7800CD 50SCCM        50%PH3/SIH4
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Aera质量流量控制器FC-7800CD 50SCCM 50%PH3/SIH4

型号/规格:

流量控制器FC-7800CD

品牌/商标:

Aera

量程:

50SCCM

价格:

25830.0

产品信息

Aera质量流量控制器FC-7800CD 50SCCM        50%PH3/SIH4

模拟金属密封;
流量范围:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
进气压力:140 psi(981 kPa)
美国Aera FC-7700系列质量流量计

优点:
高性价比
响应速度快:小于2秒
无与伦比的可靠性:使用一年以上,零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成:标准接头和尺寸
出众的效果:高品质膜层与蚀刻特性
 
特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许清洗流量:高达校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)