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产品信息
Aera质量流量控制器FC-7800CD 50SCCM 50%PH3/SIH4
模拟金属密封;
流量范围:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
进气压力:140 psi(981 kPa)
美国Aera FC-7700系列质量流量计
优点：
高性价比
响应速度快：小于2秒
无与伦比的可靠性：使用一年以上，零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成：标准接头和尺寸
出众的效果：高品质膜层与蚀刻特性
特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许清洗流量：高达校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)