上海闻企电子科技有限公司

德国Bronkhorst氨气流量计RUR-106T   M16204097R HIGH-TECH

高压气体质量流量控制器

工作压力/ delta-P高达400 bar

稳定的控制，即使在可变压力条件下

高度

几乎不受压力和温度的影响

设计紧凑

流量范围(可用中间范围) 0.2,10 ln / min 2…100 ln / min

精度(包括线性度)(基于实际校准)±0.5%RD加±0.1%FS

重复性<0.2%RD

调节比1:50

多种流体储存能力 8条校准曲线

稳定时间(在控制范围内，典型值)2 4秒。

控制稳定性<±0.1%FS

工作温度-10 +70°C

温度灵敏度为零：<0.05%FS /°C; 跨度：<0.05%Rd /°C

压力灵敏度0.1%RD

泄漏完整性，舷外测试<2 x 10-9 mbar l / s He

姿态灵敏度 偏离水平线90°时的误差为1 bar时水平0.2%，典型N2

预热时间30分钟。 获得精度

2分钟的精度±2%FS