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BROOKS布鲁克斯质量流量计SLA5860SH1AA0C2A1  20gm/m   C2H4

BROOKS质量流量计SLA5860将工艺所需的准确性、可靠性和可重复性相结合，是一种能够为您提供高精度性能和长期稳定性并且经济有效的测量仪器。 

特点：

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
• 高精度
• 流量范围宽 - 从0.003一直到 2500 lpm
• 上限耐压等级 - 高达 1500 psi/100 bar（可选：4500 psi/310 bar）
• 可编程多气体/多量程功能
• 可单独轻松访问的诊断/维护端口
• 包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485加模拟接口在内的各种通信选择
• 采用模块化设计，无论在工厂或是现场使用均非常易于维护

BROOKS质量流量计SLA5860关键应用：

• 化学品与石化分析和试验过程
• 实验室和分析系统
• 生命科学实验室
• 薄膜气相沉积
• 热处理、切割等其他热过程
• 真空应用

BROOKS质量流量计SLA5860测量原理：

 是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。