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TEL 12寸晶圆盘5043-000310-12东京电子UA039/011A UR033/015A
晶圆盘5043-000310-12
TEL
12寸
125730
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产品信息
TEL 12寸晶圆盘COVER ASSY HEATER(CVCH) 5043-000310-12
tokyoelectronlimited-东京电子TEL COMPUTER/EMEBDDED/UA039/011A-05.SR5050-000197-12.UR033/015A
|
|
测量范围 |
*小读值 |
指示精度 |
反应速度 |
测量力 |
测头 |
防水胶套 |
|
IPD-B505F/05M |
5mm |
0.5um |
1um以下 |
2000mm/sec |
<1.08N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |
|
IPD-B505F/2M |
5mm |
0.5um |
1um以下 |
2000mm/sec |
<1.08N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |
|
IPD-B505F/2M-03N |
5mm |
0.5um |
1um以下 |
2000mm/sec |
<0.3N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |
|
IPD-P510/2M |
10mm |
0.5um |
1um以下 |
2000mm/sec |
<1.08N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |
|
IPD-P510/2M-03N |
10mm |
0.5um |
1um以下 |
2000mm/sec |
<0.3N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |
|
IPD-P510N/2M |
10mm |
0.5um |
1um以下 |
2000mm/sec |
<1.08N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |
|
IPD-P510N/2M-03N |
10mm |
0.5um |
1um以下 |
2000mm/sec |
<0.3N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |
|
IPD-P510B/2M |
10mm |
0.5um |
2.5um以下 |
2000mm/sec |
<1.08N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |
|
IPD-P510BN/2M |
10mm |
0.5um |
2.5um以下 |
2000mm/sec |
<1.08N |
F-201(陶瓷测头) |
M-132 |