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全新原现INFICON英富康 真空计 BPG402-SD 353-576真空计
BPG402-SD 353-576真空计
INFICON英富康
+20 … +28
12760.0
相关产品
产品信息
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
类型 BPG402-S
测量范围（空气、O2、CO、N2） 5×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重复性
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除气 (1)
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压力，zui大 bar (absolute) 2
温度
运行（环境） °C 0 … +50
贮存 °C -20 … +70
在法兰处烘烤，无电子设备 BPG402-S °C 80
无电子设备，在法兰处烘烤 BPG402-SL °C 150
电源电压 +20 … +28
输出信号模拟
输出信号 V 0 … +10
测量范围 V +0.774 … +10
电压与压强 volts per decade 0.75
错误信号 V 0.1 / 0.3 / 0.5
zui小负载电阻 kΩ 10
设定点继电器
设定点数量 1
范围 mbar 1×10-9 … 100
继电器触点 n.o., potential free
滞后 % of reading 10
触点额定值 ≤30
数字功能 degas
接口（数字）(2) RS232C
发射控制 automatic / manual via interface
单丝 two Yt2O3 coated Ir