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相关产品
产品信息
MKS 626B-28270真空计ES2L80-000113-11
数字压力计
100(kPa)
1
0.1(MPa)
空气
● 直接測量腔體的壓力值,與氣體類型無關
技術參數:
类型:
测量范围:
精度等级:
工作压力:
适用范围:
● 長期的輸出穩定性保証了在任何應用中的現代技術發展的要求
● 耐熱的鎘鎳鈦合金薄膜在化學反應環境中將不會有任何的損坏,包括鹵素,
電離水,蒸汽和臭氧
● 高的可靠性保証了偶然的系統意外造成的損坏
● 符合歐洲 CE,EMC 標誌
測量範圍:1.0*10ˉ1 到 1000 Torr
或 1.3*10ˉ1 到 1300 Mbar
或 13 到 130000 Pascal
週圍溫度:0-50℃
過壓限制:45 psia
響應時間:小於20毫秒
電源要求:±15VDC,35ma
模擬輸出: 0-10VDC,線性輸出
測量精度:小於讀數值的 0.25%。
分辨率:滿量程的 0.001%
開機預熱時間:無需
安裝方向:任意方向
內部容積:6.3 立方釐米