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产品信息
SQC-310（C） 薄膜沉积控制器
高精度连续镀膜控制或共镀膜控制—来自技术优越者
具有先进的电子学,改进的显示器,和非常高的性价比,INFICONSQC310系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色.同时可为您的应用选择理想的模式:顺序镀膜(SQC310)或并行镀膜(SQC310C).用于顺序镀膜,SQC310装备有2个传感器输入,2个 源输出,和8个数字输入/输出,提供为这些数量加倍的扩展插件板选件. 用于并行镀膜,SQC310C控制仪监测多至4个石英晶体传感器,带有4个PID控制输出,16个数字输入,和16个继电器输出, 与SQC310 的规范相同.
INFICON 的办事处遍布, 是唯壹可提供您就地服务 和性技术支持 — 包括提供 SQC310 系列的全部附件 如传感器, 馈入件和辅件的薄膜镀层控制仪制造商. 订购 SQC310 系列仪器 — 或任何其它 INFICON 产品 — 不管 您在何处, 您将得到迅速的答复,亲临现场的服务, 和*大的 设备正常运行时间。
特点
■ 高亮度,¼VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文.
■ 标准RS-232和USB(有以太网选件).
■ 易设置和操作，有“快速设置” 菜单,6个上下文-敏感的按钮,和方便的参数设定旋钮.
■ Windows® 程序用于开发,测试,和下工艺过程, 和将仪器数据记录至您的PC上, 用于过程分析与质量控制.
■ 精准的过程控制,尤其用于低淀积率,在10 读值/秒时的分辨率为±0.03Hz,在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm.
■ 贮存容量高至100个工艺过程,1,000个膜层,50 个膜系.
■ 用单传感器或多传感器监测源材料, 提供精准的源分布监测.