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产品信息
GHW系列高频射频电源为MKS目前的射频主流产品。他的标准输出频率为13.56MHZ,输出功率包括1250W，2500W，5000W。
目前主要应用包括：等离子清洗，PECVD，HDPCVD，刻蚀以及真空镀膜等，主要应用领域包括半导体，平板显示，LED，太阳能电池等领域。
GHW系列射频电源的特点：
1． 电源频率稳定性：13.56MHZ±0.005%;
2． 精度：全功率范围的±1.5%；
3． 自动失谐保护；
4． 不限的阻抗调谐范围；
5． 高清数字显示；
6． 易于集成，体积小；