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产品信息
| 形名 | TMP-B70 | |||
|---|---|---|---|---|
| 冷却方法 | 自然空冷 | 強制空冷 | 水冷 | |
| 到達圧力※2 | ベーキング後 | ※1 | 10-8 Paオーダ※2 | 10-8 Paオーダ※2 |
| ベーキング前 | 10-6 Paオーダ | 10-6 Paオーダ | 10-6 Paオーダ | |
| 排気速度※3 | N2 | 70 L/s | 70 L/s | 70 L/s |
| He | 60 L/s | 60 L/s | 60 L/s | |
| H2 | 49 L/s | 49 L/s | 49 L/s | |
| 排気速度（KF40） | N2 | 41 L/s | 41 L/s | 41 L/s |
| He | 46 L/s | 46 L/s | 46 L/s | |
| H2 | 42 L/s | 42 L/s | 42 L/s | |
| *大圧縮比 | N2 | > 1×109 | > 1×109 | > 1×109 |
| He | 4×107 | 4×107 | 4×107 | |
| H2 | 4×105 | 4×105 | 4×105 | |
| 臨界背圧（N2ガス、87,000rpm） | 1400Pa | 1400Pa | 1400Pa | |
|
連続運転可能な *大排気口圧力※4 |
N2 |
300 Pa（周囲温度25℃以下） 200 Pa（周囲温度30℃以下） |
900 Pa（周囲温度25℃以下） 600 Pa（周囲温度35℃以下） |
900 Pa（周囲温度25℃以下） 600 Pa（周囲温度40℃以下） |
| 連続運転可能なN2ガス流量 |
15 SCCM（周囲温度25℃） 10 SCCM（周囲温度30℃） |
40 SCCM（周囲温度25℃） 30 SCCM（周囲温度35℃） |
40 SCCM（周囲温度25℃） 30 SCCM（周囲温度45℃） |
|
| 質量 | ICF | 5.0 kg | 5.2 kg | 5.1 kg |
| VG | 3.3 kg | 3.5 kg | 3.4 kg | |
| ISO | 3.0 kg | 3.2 kg | 3.1 kg | |
| KF | 3.1 kg | 3.3 kg | 3.2 kg | |
| 軸受方式 | 磁気軸受、セラミック玉軸受 | |||
| 吸気口フランジ | ICF114、VG65、ISO63K、KF40 | |||
| 排気口フランジ | KF16 | |||
| 規定回転数 | 87,000 rpm | |||
| 起動時間（80 %まで） | 1.7分 | |||
| 取り付け方向 | 全方位 | |||
| 騒音［弊社測定方法による］※5 | 48 dB（A）以下 | |||
| 許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | ||
| 軸方向 | 15 mT | |||
|
電源 |
電圧 | DC24 V ± 5 % | ||
| *大所要電力 | 120 W | |||