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Aera气体质量流量计FC-7810CD 7SLM NH3 FC-7700CD 3SLM SiH4
型号/规格：
气体质量流量计FC-7810CD FC-7700CD
品牌/商标：
Aera
电压：
24V
价格：
12860.0
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产品信息
Aera气体质量流量计FC-7810CD C100506168 7SLM NH3 FC-7700CD C100506019 3SLM SiH4
优点
一、响应速度小于2秒
二、使用一年以上，零点漂移小于满量程的0.5%
三、标准接头和尺寸
四、膜层与蚀刻特性好
特性
一、非金属密封
二、VCR连接
三、量程范围从10SCCM到150SLM
四、常闭或常开式电磁阀
五、允许清洗流量可以达到校准值的百倍
六、漏率1×10-6 atm-cc/秒（氦）