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产品信息
FC-R7800CD质量流量控制器特点
◆高精度
◆高信赖和可靠性
◆耐腐蚀设计
◆采用金属密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM－200SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆高速应答**的统一性，目前世界上有大约7万只在运行中的产品，内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉◆方
◆方便的互换性
FC-R7800CD质量流量控制器技术参数
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性能指标 |
FC-R7800CD/FC-R7800D系列
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FC-R7810CD/FC-R7810D系列
|
FC-R7820CD/FC-R7820D系列
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满量程范围
|
10Sccm-5Slm |
N/O:6-20slm*
N/C:6-50slm** |
35-200Slm |
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响应时间 |
满流量的±2%范围内,小于2秒 |
满流量的±2%范围内,小于3秒 |
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|
精度 |
≤±1%满量程 |
≤±2%满量程 |
|
|
线性镀 |
≤满量程±0 5% |
≤满量程±0 5% ＃1 |
≤满量程±1% |
|
重复性 |
≤满量程±0.2% |
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|
泄漏率 |
1X10E-11 Pa.m 3/sec |
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|
控制范围 |
满流量的2%-5% #2 |
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|
压差 |
49Kpa-275Kpa
|
69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa |
147Kpa-275Kpa
|
|
正常工作压
力 |
490Kpa
|
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|
*高进气压力 |
980Kpa
|
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|
温度范围
|
5
|
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|
输入电源
|
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA |
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 200mA |
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|
功率 |
3.1W max |
3.5W max |
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|
输入信号 |
0-5 VDC |
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|
输出型号 |
0-5 VDC |
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控制阀形式 |
常开或常闭电磁阀 |
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密封件 |
金属密封 |
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|
材质 |
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标准接口 |
1/4"VCR和Swagelok兼容 |
3/8"VCR,1/4"VCR |
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重量 |
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＃1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1%
＃2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-100%
＃3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa