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NOVELLUS去胶机配件 3510 PN：16092-01 plate heated L3510/PEP3510 A-3758
型号/规格：
去胶机配件 L3510/PEP3510 A-3758
品牌/商标：
NOVELLUS
材料：
不锈钢
价格：
89370.0
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产品信息
NOVELLUS 3510 PN：16092-01 plate heated L3510/PEP3510 NOVELLUS 3510 PN16092-01 plate heated L3510/PEP3510 A-3758
GasonicsPEP3510 resist asher Main body set up for 8 'wafer configuration information：
1.S/N：M982090 and M982100
2.Vintage: 1998
3.SECS/GEM interface
4.2x Open cassette
5.Dual Blade Yaskawa Robot
6.Left/Right coolers
7.Left Module: PEP3510A/A(L)
8.Right Module: PEP3510A/A(R)
9.Quartz process kit
10.Standard Platen
11.MKS600 series Pressure controller
12.IBM Computer
13.Microwave Power supply: Astex(2000W)
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