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干式氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS)

INFICON 氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS) 设计用于满足半导体应用中的泄漏检测要求。

此款检漏仪具有灵活性、可移动性、高灵敏度和可靠性，能够快速启动并提供快速的测量结果。

快速获得结果

改进后的真空系统采用低维护真空泵设计，在大气压力下即可检测泄漏。耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本。UL3000 Fab PLUS 中的 HYDRO-S 软件可消除系统中的水汽，使泄漏检测过程更加迅速。

UL3000 Fab PLUS 采用成熟的嗅探器线路 SL3000（长度可达 10 m），嗅探能力得到进一步提升。

旋转式遥控显示器

新型触摸屏显示器可远距离显示测量结果和状态信息。通过用户引导型菜单结构可轻松进行操作，即使缺乏经验的操作员也能胜任。可通过智能手机或平板电脑对 UL3000 Fab (PLUS) 进行无线控制 - 无需特殊软件或应用程序。按下按钮，即可将记录和存储的检测结果传输到其他存储介质中，以进行进一步分析。

纤薄设计，实现高度的可操作性

低重心、大底轮、符合人体工程学设计的手柄和纤薄外壳，使得 UL3000 Fab (PLUS) 即使在狭小的空间内也能移动自如。

功能可在大气压力下测量直观的用户指南与触摸屏显示器坚固耐用的真空系统，不易受灰尘和污染物影响转弯半径小，移动性能出色可使用智能手机通过网络浏览器进行操作维护要求低设备上已附带配件典型应用在现有工具中安装前对部件执行检漏工艺气体系统的检查和安装使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试在对检测条件和清洁度要求严苛的环境中进行的泄漏检测