上海闻企电子科技有限公司

Agilent TwisTorr 304 FS 高真空涡轮分子泵采用 Twistorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体（如氢气和氦气）能提供高压缩比，从而实现高通导量和高前级耐压，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。 该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证**的轴承工作条件，从而能延长工作寿命**程度减少系统停机时间，并能确保长时间稳定的抽气性能。 TwisTorr 304 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意角度安装。可选择泵机一体式控制器或机架式控制器。

特性创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和的系统占用空间。高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，**的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化**程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。性能指标技术指标

抽速ISO 100/CF 6 英寸ISO 160/CF 8 英寸氮气250 L/s250 L/sHe255 L/s255 L/s氢气220 L/s220 L/s氩气250 L/s250 L/s全转速气体流量（与推荐前级泵一起使用）环境温度

(25 °C)水温

(25 °C，50 L/h）氮气170 sccm170 sccm氩气110 sccm110 sccm压缩比与前级耐压氮气大于 1 x 1011大于 10 mbarHe大于 1 x 108大于 10 mbar氢气1.5 x 106大于 4 mbar氩气大于 1 x 1011大于 10 mbar极限真空（采用推荐前级泵） 前级泵 (5 m3/h)小于 1 x 10-10 mbar（小于 1 x 10-10 Torr）抽气口法兰CFF 8 英寸外径 ISO 160CFF 6 英寸外径 ISO 100前级管道法兰KF16 NW（KF25 — 可选）转速60000 rpm（1010 Hz 驱动频率）启动时间小于 3 分钟推荐的前级泵机械：Agilent DS 102干式泵：Agilent SH 110工作位置任意操作环境温度+5 °C 至 +35 °C空气的相对湿度0 至 90%（非凝缩）烘烤温度抽气口法兰**温度 80 ℃（ISO 法兰）抽气口法兰**温度 120 °C（CFF 法兰）润滑油持久润滑冷却要求强制通风（环境温度为 5-35 °C）水（如果环境高于 35 ℃，需强制水冷）冷却水流速：50 L/h (0.89 GPM)温度：+ 15 ℃ 至 + 30 ℃压力：3 至 5 bar（45 至 75 psi）噪音压力级别1 米时小于 50 dB(A)储存温度-40 ℃ 至 +70 ℃高度：3000 m重量 kg（磅）泵用 ISO 100 法兰5.5 kg (12.3)泵用 CFF 6 英寸7.5 kg (16.5)泵用 ISO 160 法兰5.7 kg (12.6)泵用 CFF 8 英寸9.7 kg (20.9)