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产品信息
热阴极电离真空规通常使用三个电极，热阴极发射电子到阳极，电子在飞行过程中与被测气体碰撞使其电离。然后通过测量在收集极产生正离子电流，来测量真空度。
目前使用多的热阴极传感器是BA规，可测量的压强范围为10-10到10-2 mbar /Torr。
采用其它电极排布方式可获得较高的压强范围，从10-1 mbar /Torr低至10-10mbar/Torr。要测量低于10-10mbar/Torr的压强时，需要采用Redhead式超高真空分离规。由于该系统的特殊的几何布置，几乎可以完全排除X射线效应和离子解吸附之类的干扰影响。超高真空分离规允许测量的压强范围为10-4 mbar /Torr到10-12 mbar/Torr。