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cc-10 是一款应用规管技术的独立的、紧凑型的全量程真空计与控制

器。cc-10 能够替代多种传统的真空计，可以为用户测量从大气压到10-9torr 的

压力。它需要22-26v 直流电源，具有数字压力指示，模拟输出与rs485 通讯功

能。在仪器控制面板能够设定三个独立的继电器设定点，也可以通过远程显示模

块或rs485 来完成设定。

1.0.2 规管技术

cc-10 使用两种类型的规管测量12 个数量级的真空度。大气压至10-4torr

使用石英规测量，10-2torr 至10-9torr 使用双反磁控冷阴极规进行测量。

1.2.1 晶体规管工作原理

晶体规是一个简单的石英振荡器，类似于腕表中普遍使用的振荡器。振荡器的电

阻与其周围的气体压力有关，压力变化时其电阻也随之改变（由于石英表面与气

体分子之间的摩擦系数而导致）。晶体规测量石英振荡器的电阻并通过其电路转

换成气体压力值。

特点

宽量程真空计（760～1×10 -9乇）

无缝测量大气压力

UHV单真空端口

0-10VDC模拟量输出

RS485数字通信

三个可调的设定点

数字显示，乇，毫巴或帕

24VDC电源

小尺寸：3.7“×2.75”×6.3“