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相关产品
产品信息
全新订货4-6个月 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP System, 8"
Process: IMP BM
Orienter / Degas
(2) Standard SMIF handler system
(4) Dry pumps
(2) Compressors
(2) Generator racks
NESLAB Chiller
AC Box
Thin film fab section
NESLAB Chiller
Wafer shape: notch
SMIF Interface
Chamber B information:
Cooldown chamber
CTI-CRYOGENIC On board pump
TRIVIA LEYBOLD Rough pump
VAT Valve
GRANVILLE PHILIPS Convection
Power supply:
Line frequency: 50 Hz
Line voltage: 200/208 V
Line amperage: 320 A