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相关产品
产品信息
英福康石英晶控探头种类繁多，适用于不同要求，不同工艺以及跟用户的设计安装亦相关。
1 水平型1寸螺柱法兰。
2. 垂直型1寸螺柱法兰
3. 水平型CF40螺柱法兰
4 垂直型CF40螺柱法兰
提供两种探头配置: 标准型和紧凑型。标准型用于从真空室的侧面或底部安装，冷却管与晶片是平行的。紧凑型用于从真空系统的顶部安装，冷却管与晶片是垂直的。可选购探头带有气动晶体挡板，用于在源加热升温的过程中，交替材料沉积或未使用晶体时，或为延长晶体寿命使用 RateWatcher™ 时保护晶体。为便于更换晶体，挡板采用下拉式结构。为有效地消除 RF 干扰的问题，暴露的晶体电极是妥善接地的。
前载式单探头法兰
INFICON 提供两种法兰的可选型号: 1" 螺丝法兰或 2 ¾" (CF40) ConFlat®法兰。可按用户要求提供 KF40 法兰。
前载式单探头法兰连接
前载式单探头可订购带法兰的组合型。探头 / 法兰连接可采用焊接或直口接头。直口接头易调整，无钎焊或焊接的要求。法兰可沿管长移动，对于 "E" 长度探头，真空系统内的长度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8"- 28") 的范围内调整，对于 "G" 长度探头，可在 20.3 厘米至 121.9 厘米 (8"- 48") 的范围内调整. 一旦确定所需的长度, 直口接头可用手指拧紧的管密封件。 或者，可选焊接连接. 如需焊接连接, 必须在订购前填写 INFICON 提供的一个探头长度规格表。
Front Load石英晶体传感器探头
INFICON还推出了的ALD探头，工作温度可达450度。
INFICON 前装式单晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供卓越的热稳定性。前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。
功能
- 前装式晶体支架
- 易于安装
- 随附 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入件 / CF40 馈入件
- 在配有压缩接头时可调长度
- 焊接为客户指定长度的传感器/馈入件组合
- 在配有压缩接头或焊接到馈入件时无需铜焊