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产品信息
STS / SPTS DRIE Shield ring 石英圈 2031850 WAFERSHIELD/ESC COVER 154-1C 8-NOVEMBER-2013 PETER ROWSON
STS / SPTS DRIE调节电容704419 CAP CER 100pf 10kV 2% NPO DISC S SU-000009CD9A6F
DRIE是一种高度各向异性的蚀刻工艺，用于在硅（Si）中形成结构，是现代MEMS生产的基石。DRIE 的使用范围已扩大到还包括gao级 3D-IC 生产中的电源（深沟隔离）和硅通孔 （TSV） 应用。
SPTS于1995年通过与“博世工艺”的发明者Robert Bosch GmbH的密切合作，交付了其di一台博世许可的DRIE系统。作为这项技术的先驱，SPTS通过战略并购活动稳步扩大了其DRIE产品供应。2009 年，两家行业ling先的 DRIE 提供商 Aviza Technologies 和 STS 合并成立了 SPTS。2011年2月，SPTS通过收购Tegal（前身为AMMS）的DRIE部门进一步巩固了这一市场地位，该部门包括未来产品开发的重要知识产权（IP）。SPTS现在支持世界上zui大的研发和生产DRIE系统。